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本发明属于偏振反射镜技术领域，提供了一种非铝基深紫外偏振反射镜及其制备方法。本发明的非铝基深紫外偏振反射镜可以在100nm～300nm范围内对入射深紫外线有着良好的偏振反射效率，特别是在240nm处，S光反射率为71％，P光反射率为15％，...
该专利属于苏州闻道电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州闻道电子科技有限公司授权不得商用。

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