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提供一种半导体装置，通过在Ｘ－Ｙ台架的内侧设置小型的台架，该装置可容易并且正确地进行操作。该半导体装置包括：在预定方向上可单独或整体地移动的至少一个以上的Ｘ、Ｙ机架，安装在Ｘ、Ｙ机架内至少一个之上且用于驱动该Ｘ、Ｙ机架的主驱动装置，安装在Ｘ...
该专利属于未来产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过未来产业株式会社授权不得商用。

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