下载液体分配系统以及提高液体与衬底之间接触面积的方法的技术资料

文档序号:3732406

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一种将液滴分配到衬底上的设备和方法,通过向液滴排放压缩空气喷流而使液滴扁平。一个分配器包含一分配器体,其具有与粘性液体源相连的液体供应通道。一个喷嘴体与分配器体相连,并带有与液体供应通道相通的液体排放通道以及连接到压缩气源以排放压缩空气喷流...
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