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本发明制备一种部件,其具有布线电路铜箔21,该铜箔通过由不同的金属形成的抗蚀层22,形成于凸部形成铜层23上。通过不对抗蚀层进行蚀刻的蚀刻剂,有选择地对凸部形成铜箔21进行蚀刻处理,由此形成凸部25。之后,通过不对上述铜箔21进行蚀刻的蚀刻...该专利属于德塞拉互连材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德塞拉互连材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明制备一种部件,其具有布线电路铜箔21,该铜箔通过由不同的金属形成的抗蚀层22,形成于凸部形成铜层23上。通过不对抗蚀层进行蚀刻的蚀刻剂,有选择地对凸部形成铜箔21进行蚀刻处理,由此形成凸部25。之后,通过不对上述铜箔21进行蚀刻的蚀刻...