下载用于镀膜机的坩埚装置的技术资料

文档序号:37322498

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本实用新型属于镀膜机技术领域,尤其涉及一种用于镀膜机的坩埚装置,包括:坩埚盘其可转动地设于镀膜机内部,坩埚盘的上表面凸起形成有定位凸台,该坩埚盘的上表面且位于定位凸台的一侧开设有容料槽,定位凸台与容料槽靠近该定位凸台的侧壁之间的区域为平台区...
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