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本发明公开了一种抓取机构，与升降带连接，且能在升降带动下升降，抓取机构包括基板，基板上设置有夹持装置、调节装置和对中装置。其中夹持装置用于夹持晶圆盒，调节装置用于升降带的端部固定，且能对升降带进行收卷和放卷，实现升降带的无级微量调节。在抓取...
该专利属于上海果纳半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海果纳半导体技术有限公司授权不得商用。

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