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本发明的课题是在不用胺的情况下使聚酰亚胺的树脂层高精度而且迅速蚀刻。解决方法如下，本发明的蚀刻液分别含有碳数３以上６以下的二醇或者碳数４以上６以下的三醇在３重量％以上６５重量％以内，碱性化合物在１０重量％以上５５重量％以内的范围，水为上述碱...
该专利属于索尼化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过索尼化学株式会社授权不得商用。

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