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本实用新型涉及晶圆槽式清洗技术领域，具体涉及烘干槽、烘干装置以及清洗设备，包括槽体和烘干组件，所述烘干组件设置在槽体周侧上方，所述槽体内置有工件和清洗液，待所述工件被提出所述清洗液面时，所述烘干组件用于烘干所述工件的表面。本实用新型槽体可直...
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