下载包括聚酰亚胺层的叠层组件的蚀刻方法的技术资料

文档序号:3731273

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本发明公开了一种蚀刻叠层组件的方法,该叠层组件具有通过热塑性聚酰亚胺结合在一起的金属层和非热塑性的聚酰亚胺层,该方法包括使用至少含有碱金属氢氧化物、水和烷氧基胺的蚀刻剂,其中碱金属氢氧化物浓度(X重量%)与水浓度(Y重量%)之间的关系由下列...
该专利属于住友电气工业株式会社;株式会社渕上微所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社;株式会社渕上微授权不得商用。

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