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本实用新型公开了一种单晶炉及其单晶换热装置，其中，该单晶换热装置，包括：设置于导流筒的水冷热屏，该单晶换热装置还包括：设置于水冷热屏的内壁的管路冷却装置。在本方案中，通过在水冷热屏的内壁增设管路冷却装置，以便于加大晶棒结晶潜热释放速率，有助...
该专利属于双良硅材料(包头)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过双良硅材料(包头)有限公司授权不得商用。

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