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一种LED芯片巨量转移自补偿用测转实时共位的检测装置制造方法及图纸
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下载一种LED芯片巨量转移自补偿用测转实时共位的检测装置的技术资料
文档序号:37308645
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本发明公开了一种LED芯片巨量转移用自补偿测转实时共位的检测装置,由芯片转移系统、光学检测系统和对位系统组成;转移系统包括:平台底座、立柱支座、立柱、固定座、底板、连接块和激光头;光学检测系统包括:检测装置固定块、环形相机载台支架组件、检测...
该专利属于北京海炬电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京海炬电子科技有限公司授权不得商用。
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