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一种3D堆叠的半导体器件及其制造方法、电子设备技术
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文档序号:37308608
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一种3D堆叠的半导体器件及其制造方法、电子设备,所述3D堆叠的半导体器件包括:多个晶体管,分布于不同层沿着垂直衬底方向堆叠;字线,贯穿所述不同层的所述晶体管;与所述多个晶体管分别对应的多个保护层;其中,晶体管包括环绕字线侧壁的半导体层,设置...
该专利属于北京超弦存储器研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京超弦存储器研究院授权不得商用。
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