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本发明是贮存并向半导体制造的加工器具提供低蒸气压的工艺化学品的装置，其包括：ａ）用于贮存低蒸气压的工艺化学品的散物容器；ｂ）用于向加工器具输送工艺化学品的操作容器；ｃ）用于由散物容器向操作容器提供工艺化学品的第一多支管；ｄ）含有一定数量的溶...
该专利属于气体产品与化学公司所有，仅供学习研究参考，未经过气体产品与化学公司授权不得商用。

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