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本发明公开一种连续拼版式的纳米压印方法，包括以下步骤：制备具有精确纳米压印区域的软模板；在晶圆上涂覆压印胶；利用具有精确纳米压印区域的软模板对涂覆有压印胶的晶圆进行连续多个区域的压印，直至压印完成。本发明无需制备大尺寸的软模板，降低生产难度...
该专利属于苏州光越微纳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州光越微纳科技有限公司授权不得商用。

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