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本申请涉及一种类金刚石碳基涂层、复合涂层及其制备方法，所述类金刚石碳基涂层包括碳、氢和掺杂元素，所述掺杂元素包括弱碳化物形成金属元素、强碳化物形成金属元素和非金属元素；其中，所述类金刚石碳基涂层中，以碳和掺杂元素的原子总量计，碳的原子百分比...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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