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双光栅半导体激光器制造技术
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文档序号:37307583
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本发明提供了一种双光栅半导体激光器,包括分布反射镜区和分布反馈区。其中,分布反射镜区包括:第一N电极,形成于第一衬底的下表面;第一衬底;第一量子阱材料层,形成于第一衬底的上表面;第一光栅,形成于第一量子阱材料层之上;第一包层材料,形成于第一...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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