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水平放置双面清洗装置制造方法及图纸
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下载水平放置双面清洗装置的技术资料
文档序号:37307458
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本实用新型提供一种水平放置双面清洗装置,它包括上下装配的上机架、下机架,所述上机架通过气缸连接有升降水盘,所述下机架上装配有水平的固定水盘,待加工的晶圆片放置在所述固定水盘以及升降水盘之间,所述固定水盘的上部以及所述升降水盘的下部分别通过环...
该专利属于苏州桔云科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州桔云科技有限公司授权不得商用。
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