下载水平放置双面清洗装置的技术资料

文档序号:37307458

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种水平放置双面清洗装置,它包括上下装配的上机架、下机架,所述上机架通过气缸连接有升降水盘,所述下机架上装配有水平的固定水盘,待加工的晶圆片放置在所述固定水盘以及升降水盘之间,所述固定水盘的上部以及所述升降水盘的下部分别通过环...
该专利属于苏州桔云科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州桔云科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。