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本实用新型公开了一种实现DMD多路复用的分区同时直写曝光系统，包括：光源、照明系统、数字微镜阵列、反射镜组、导光系统、投影系统等组成部分。本方案通过将数字微镜阵列设置成沿扫描方向分区的N个DMD子阵列，配合反射镜组和导光系统输出多个图像分区...
该专利属于深圳光迪科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳光迪科技有限公司授权不得商用。

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