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本发明公开了一种外延片的制备装置及其制备方法，涉及外延片制备技术技术领域，包括：加工台；承载槽，其布设于所述加工台上，以用于承载外延片；滑槽，其设置于承载槽中心端；推板，其滑动布设于滑槽中；驱动机构，其与推板连接，用于驱动推板升降，以通过推...
该专利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州中欣晶圆半导体股份有限公司授权不得商用。

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