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本实用新型提供了一种6寸和8寸料盒兼容机械人取放晶圆用料盒工装，属于晶圆加工设备技术领域，其包括至少一块料盒主支撑板，料盒主支撑板上设置有料盒放置工位，料盒放置工位用于放置6寸料盒和8寸料盒；料盒放置工位上设置有至少一个位置传感器、第一传感...
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