下载一种氧化镓肖特基势垒二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:37305862

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本发明公开一种氧化镓肖特基势垒二极管及其制备方法,氧化镓肖特基势垒二极管包括:Ga2O3衬底;设置在Ga2O3衬底一表面上的Ga2O3漂移层,Ga2O3漂移层远离Ga2O3衬底的一侧设置有若干个凹槽,凹槽中设置有p型半导体;p型半导体与Ga...
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