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本申请提供了一种压电薄膜体声波谐振器，包括：衬底、位于衬底的一侧的底电极、覆盖于底电极远离衬底的一侧的压电层、位于压电层远离底电极的一侧的顶电极、位于顶电极远离压电层的一侧的刻蚀插入层、位于刻蚀插入层远离顶电极的一侧的凸起框架；刻蚀插入层和...
该专利属于瑞声科技（南京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声科技（南京）有限公司授权不得商用。

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