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采用溶胶-凝胶封闭处理电子元器件方法技术
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文档序号:3730287
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一种采用溶胶-凝胶方法处理封闭电子元器件的方法,其特征在于:它包括以下各步骤: 1)把电子元器件放在真空容器中,然后引入溶胶抽真空30~300分钟,在室温、大气条件下干燥;所说溶胶是硅溶胶、铝溶胶、钛溶胶、锆溶胶、锌硼硅溶胶、钡硼硅溶...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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