下载放置元件设备的技术资料

文档序号:3730272

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一放置元件设备,用于在转动方向(θ)和垂直方向(Z)中驱动一吸嘴,和将吸力施加于一元件,它包括:    一旋转驱动器;    一直线驱动器,它包括连接于旋转驱动器的一定子的一定子,从而这两定子相互之间不能运动;    一花键轴,它连接于旋转...
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