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本申请提供一种半导体结构的制造方法及半导体结构,方法包括:将衬底置于转轴上,衬底随着转轴按预设转速旋转;沿垂直于衬底所在平面的方向对衬底施加磁场;在施加磁场期间,在衬底上形成第一掩膜层,第一掩膜层中掺杂有带电粒子,带电粒子在磁场中所受的磁场...该专利属于湖北江城芯片中试服务有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北江城芯片中试服务有限公司授权不得商用。
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