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防止电子器件氧化的装置及方法制造方法及图纸
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下载防止电子器件氧化的装置及方法的技术资料
文档序号:3730176
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一种防止电子器件在解热时氧化的装置,包括: (1)被加热的一个器件区; (2)提供相对惰性气体到所述区域的进气部件; (3)一个多孔的分配部件,通过它惰性气体从进气部件到达所述区域,以防止电子器件在该区域氧化。...
该专利属于先进科技新加坡有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进科技新加坡有限公司授权不得商用。
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