下载测定装置的技术资料

文档序号:3729982

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一种测定装置,该测定装置包括:    测定用照射机构,该测定用照射机构可对设置于衬底上的测定对象,照射规定的光;    拍摄机构,该拍摄机构可针对多个拍摄区域中的每个,对上述规定光照射的测定对象进行拍摄;    测定机构,该测定机构根据至少...
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