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文档序号:3729982
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一种测定装置,该测定装置包括: 测定用照射机构,该测定用照射机构可对设置于衬底上的测定对象,照射规定的光; 拍摄机构,该拍摄机构可针对多个拍摄区域中的每个,对上述规定光照射的测定对象进行拍摄; 测定机构,该测定机构根据至少...
该专利属于CKD株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过CKD株式会社授权不得商用。
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