下载采用激光束打微型孔的方法的技术资料

文档序号:3729980

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使用一个固体激光器(1)在一个多层基底(10)上打微型孔,该多层基底具有一个第一金属层和至少一个第二金属层(11,12),并在每两个金属层之间设置一个电介质层(13),利用所述固体激光器的光束在一个第一阶段去除金属层(11),在一个第二阶段...
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