下载形成金属布线的板及使用该板形成金属布线的方法的技术资料

文档序号:3729905

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一种用于形成金属导线的板,该板包括:    一用于在其中形成多个注入孔的板,并且在该板边缘形成一给定高度的侧壁;    一用于在该板上形成多个沟槽的雕刻图案;以及    一用于在用于形成该沟槽的该雕刻图案上形成多个通孔的雕刻图案。...
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