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传感器装置具备：作为第一电极部的导电性的基底基板(11)，其被保持为基准电位；作为第二电极部的膜(15)，其与基底基板(11)相向地设置，与周围的压力变化相应地产生位移；外壳(22)，其设置于膜(15)的外侧，被保持为基准电位；电容检测电路...
该专利属于株式会社村田制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

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