下载Al布线材料的技术资料

文档序号:37298313

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本发明提供一种抑制常温强度的上升,并且显示出良好的高温可靠性的新的Al布线材料。该Al布线材料的特征在于,含有从由Er、Yb及Gd构成的组中选择的1种以上,在将其含量的总计记为x1[质量%]时,0.001≤x1≤0.6,剩余部分包含Al。含...
该专利属于日铁化学材料株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日铁化学材料株式会社授权不得商用。

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