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在一个示例中，静电吸盘包含吸盘主体，吸盘主体具有被配置为支撑基板的顶表面和与顶表面相对的底表面。吸盘主体包含一个或多个夹持电极，以及一个或多个加热元件。吸盘主体进一步包含第一端子、第二端子与第三端子，第一端子设置在吸盘主体的底表面上并与一个...
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