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能够抑制金属元素从含钼膜的基底金属膜扩散，并且能够提高生产率。具有如下工序：(a)将基板收纳于处理室；(b1)将基板调整为第一温度；(b2)对基板供给含钼气体；(b3)对基板供给第一时间的还原气体；(b4)在(b1)之后，通过进行1次以上的...
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