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本发明提供一种分子束外延设备磷源炉装料机，涉及分子束外延生长技术领域。该装料机包括：分子束外延设备源炉、与坩埚相连的源炉法兰底座、立方体箱体、手伸入口、拱桥形箱体、卡扣；分子束外延设备源炉内装有与坩埚相连的源炉法兰底座且放置于立方体箱体内，...
该专利属于新磊半导体科技（苏州）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新磊半导体科技（苏州）股份有限公司授权不得商用。

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