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本发明公开了一种用于去除基片表面金属氧化物的装置和包含该装置的方法。一个优选的实施方式中，装置包含一个具外壳的电极部件，该外壳至少部分含有绝缘材料并具有内部空间和至少一个与内部空间液体连接的液体入口；连于外壳上的导电基底，该基底包含延伸至目...
该专利属于气体产品与化学公司;BTU国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过气体产品与化学公司;BTU国际公司授权不得商用。

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