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本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，包括安装座、连接座、环形槽、设置在连接座上的旋转升降组件、设置在环形槽的内壁的喷头和设置在环形槽外的伺服电机，连接座设置在环形槽的环孔下方，旋转升降组件包括一号电机、固定设置在连接座上且输出端向上的四号气缸...
该专利属于河南通用智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南通用智能装备有限公司授权不得商用。

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