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本发明提供一种能够充分地去除在真空泵的内部沉积的生成物并且能够抑制构成真空泵的母材的腐蚀的生成物去除装置、处理系统及生成物去除方法。本发明涉及的生成物去除装置具备：传感器，用于测量真空泵的内部的温度、真空泵内的流路上的生成物的膜厚或真空泵的...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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