下载导电通孔制作工艺的技术资料

文档序号:3729457

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种导电通孔制作工艺。首先,形成至少一贯孔于一基板上,且此贯孔连接基板的第一表面与第二表面。接着,形成一光致抗蚀剂层于基板的贯孔内壁、第一表面以及第二表面。然后,形成多个槽道于光致抗蚀剂层上,其中每一槽道是自第一表面经由贯孔内壁,而延伸至第...
该专利属于威盛电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过威盛电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。