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一种用于在自动导引车辆与衬底处理设备的装载端口之间发送和接收信号的通信系统，包括：第一通信单元，该第一通信单元具有被配置为与自动导引车辆执行光通信并且经由第一通信线路彼此连接的多个第一通信部分；以及第二通信单元，该第二通信单元具有分别连接到...
该专利属于北阳电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过北阳电机株式会社授权不得商用。

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