下载化学品压力容器的技术资料

文档序号:37293931

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本发明提供一种用于容易处理供应至检测晶片等的污染度的分析仪的化学品和纯净水等工序化学物质的化学品压力容器,具体地提供一种化学品压力容器,其使用由金属元素产生的污染较少的氟材料,以避免来自高反应性化学物质的工序污染,并且,在高压下不存在破损、...
该专利属于非视觉污染分析科学技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过非视觉污染分析科学技术有限公司授权不得商用。

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