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提供一种从作为收容部的托板取出作为工件的基板以供给下游侧的作业装置的、作为供给装置的装料装置；以及从上游侧的作业装置接收基板并将其收容在托板上的、作为工件收容装置的卸料装置。在这些装置中，以叠置状态保持托板的第一、第二叠放部被沿Ｙ方向并列配...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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