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图案的形成方法及其装置、器件的制造方法、电光学装置制造方法及图纸
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下载图案的形成方法及其装置、器件的制造方法、电光学装置的技术资料
文档序号:3729322
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提供一种在贮存格端部也能顺利配置液滴,形成具有所需形状的膜图案的图案形成方法。本发明的图案形成方法,是通过在基板上配置功能液的液滴形成膜图案(33)的方法,其中具有在基板上形成与膜图案(33)对应的贮存格B的工序;在贮存格B、B间沟槽部(3...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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