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薄膜晶体管制造技术
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文档序号:37292634
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一种薄膜晶体管,包括基板、半导体层、栅极绝缘层、栅极、源极以及漏极。半导体层位于基板之上。栅极绝缘层位于半导体层上。栅极位于栅极绝缘层之上,且重叠于半导体层。栅极包括第一部分、第二部分以及第三部分。第一部分沿着栅极绝缘层的表面延伸,且直接接...
该专利属于友达光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。
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