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本发明公开了一种四氯化硅氢化处理方法。根据本发明的实施例，四氯化硅氢化处理方法包括：以四氯化硅、硅粉、氢气为原料，对四氯化硅进行冷氢化处理，采用具有磁性的镍基合金作为催化剂，所述冷氢化处理在流化床中进行，增加外置磁场，使所述冷氢化处理过程中...
该专利属于江苏鑫华半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鑫华半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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