下载一种RPD镀膜设备的技术资料

文档序号:37291973

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本发明提供了一种RPD镀膜设备,属于RPD镀膜生产领域,包括外壳;真空腔,对于镀膜环境进行真空预处理的所述真空腔设置在外壳的内部;均匀单元,对于硅片进行移动牵引镀膜的所述均匀单元设置在所述真空腔的一侧;辅助成型单元,用于辅助硅片进行翻转全面...
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