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提供一种用于检验元件的系统。该系统包括例如从俯视带凸块晶片的顶部的位置产生元件的图像数据的图像数据系统。干涉测量检验系统连接到图像数据系统并接收图像数据，以及分析图像数据以定位用来确定块形接触件的表面坐标的干涉带。...
该专利属于半导体技术及器械公司所有，仅供学习研究参考，未经过半导体技术及器械公司授权不得商用。

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