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包括通过腔耦合至衬底的集成器件的封装件制造技术
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下载包括通过腔耦合至衬底的集成器件的封装件的技术资料
文档序号:37290863
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一种封装件,包括衬底和集成器件。该衬底包括芯部、第一衬底部和第二衬底部。芯部包括芯层和芯互连件。第一衬底部被耦合至芯部。第一衬底部包括耦合至芯层的至少一个第一电介质层,以及位于至少一个第一电介质层中的第一多个互连件。第二衬底部被耦合至芯部。...
该专利属于高通股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过高通股份有限公司授权不得商用。
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