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本发明公开了一种用于高纯低温液体气体的回收工艺，包括以下步骤：(一)气体洗涤：将回收的气体输送进洗涤塔中进行气体洗涤的工作；(二)初步低温加工：将洗涤的气体输送进行低温设备中进行低温加工，使得高于氦气熔点的杂质呈液态或固态，氦气与剩余气体混...
该专利属于江苏宏仁特种气体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宏仁特种气体有限公司授权不得商用。

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