下载干膜光致抗蚀剂的技术资料

文档序号:3728719

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本发明提供了一种具有高的图像分辨率、遮盖膜强度和保存稳定性的干膜光致抗蚀剂,本发明的干膜光致抗蚀剂具有支承体和感光性树脂组合物层,所述的感光性树脂组合物层至少含有:(A)具有羧基且不具有乙烯性不饱和键的聚氨酯树脂、(B)具有乙烯性不饱和键的...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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