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本发明提供一种装备系统和一种用于将基片装备元件的方法，其中沿着一个输送路段（３１０，３２０）在一个输送方向（Ｔ）上设置装料装置（２１０，２２０），其具有至少两个上下安置的接收区域（２５０，２６０，２７０，２８０），为的是沿着输送路段被提供的...
该专利属于西门子公司所有，仅供学习研究参考，未经过西门子公司授权不得商用。

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